ワイヤーソー製造設備 制御システム

シリコンウェハーのスライス加工に使用するダイヤモンドワイヤーソーの製造状況を２台のカメラで高速撮影。ワイヤーの線径やダイヤのコーティング状況を画像認識し、製造条件を自動的に調整する制御システムを開発。